VFS 系列設計特點
濾網規格參考表
操作說明
VFS-50-150
VFS-50-300
VFS-85-150
VFS-85-300
VFS-85-600
VFS-85-600-M
VFS-168-600
VFS-268-600
VFS-468-900
高級滤蕊
FS 單管過濾器
FS 複式過濾系統
FS-50-300
FM 多管過濾器
FD 多管過濾器
FL 單管過濾器
FT 多濾網式過濾器
渦漩分離機 HS-25
全不銹鋼淨漿機
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不銹鋼材質、免濾心耗材、操作簡易
1
‧
分離晶圓研磨屑。
2
‧
IC機械研磨液CMP雜質去除。
3
‧
玻璃基板研磨液雜質去除。
4
‧
LED晶圓晶粒研磨液回收、雜質去除。
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