VFS 系列設計特點
  濾網規格參考表
  操作說明
  VFS-50-150
  VFS-50-300
  VFS-85-150
  VFS-85-300
  VFS-85-600
  VFS-85-600-M
  VFS-168-600
  VFS-268-600
  VFS-468-900
 
  高級滤蕊
  FS 單管過濾器
  FS 複式過濾系統
  FS-50-300
  FM 多管過濾器
  FD 多管過濾器
  FL 單管過濾器
  FT 多濾網式過濾器
  渦漩分離機 HS-25
  全不銹鋼淨漿機
  保養維護
  流量選擇
 
  AFM 自動逆洗過濾機
  AFH 自動逆洗過濾器
 
 
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不銹鋼材質、免濾心耗材、操作簡易

1 分離晶圓研磨屑。
2 IC機械研磨液CMP雜質去除。
3 玻璃基板研磨液雜質去除。
4 LED晶圓晶粒研磨液回收、雜質去除。
   
 
   
   
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